空间光调制器(Spatial Light Modulator, SLM)是一种可以对光波的相位、幅度或偏振进行像素级可编程调制的器件。它把"光"变成了"软件可以定义的对象":加载一张相位图,就能让光束变成任意想要的形态——焦点阵列、涡旋光、全息图像。
LCoS(Liquid Crystal on Silicon,硅基液晶)SLM 在 CMOS 背板上集成反射式液晶层。每个像素的电压独立可控,改变液晶分子的取向,从而改变该像素处光程(相位)。由于液晶分子可连续旋转,LCoS 天然适合纯相位、高灰阶的精密调制。
出厂的相位—灰度曲线只是参考值。实际使用中,环境温度、入射角、波长都会引入偏差。EXAOPTO 的 LightControl 软件内置相位校准流程,相关方法已发表于 Optics and Lasers in Engineering(广义相位校准方法,绝对参考系统),可在存在背景光干扰的情况下完成高精度校准。